사용자 정의 로거 및 관련 열 보호 장치를 전지 캐리어에 내장합니다.
이러한 설계는 시스템이 156mm 전지 지점 중 하나를 차지하게 만들므로 캐리어를 개조할 필요가 없습니다.
시스템은 동력이 공급된 플라즈마 장와 공정이 종료된 프라즈마 장이 있는 전체 공정을 통과한 후 온도 프로파일 정보를 다운로드하여 분석 할 수 있습니다. 시스템은 특별히 플라즈마 챔버 내부의 열적, 전기적 극한 환경에서 내성이 강하도록 설계되었으며, 공정 구성 및 정기적 모니터링에 반복해서 사용 할 수 있습니다.
(주)영인터내셔날로 문의하시면 귀사의 공정에 적합하고다양한 제품을 제공해 드릴 것입니다.